丙二酸單體的前體,HfO2和ZrO2薄膜的MOCVD。
拉瑪pothiraja,安高長(zhǎng)玉,哈里什帕拉拉,Manuela冬天,羅蘭菲舍爾,Anjana Devi
發(fā)表于19378558
摘要
新的Hf和Zr丙二酸配合物有合成的金屬酰胺不同丙二酸配體(L =二甲基丙二酸hdmml,丙二酸二乙酯(hdeml),堤叔丁基丙二酸hdbml和雙(三甲基硅基)丙二酸(hbsml)的反應(yīng)。得到了HF所有丙二酸配體進(jìn)行配八配位的單體化合物的類(lèi)型4。相反,Zr只有hdmml hdeml產(chǎn)生八個(gè)協(xié)調(diào)的單體化合物類(lèi)型ML4,而使用笨重的hdbml hbsml配體導(dǎo)致混合Alkoxo丙二酸六配位化合物的類(lèi)型(ML2(或)2 ]。單晶X-射線衍射研究的所有的化合物的介紹和討論,和它們被發(fā)現(xiàn)是單體。該配合物是固體和在溶液中,它們保留其單體性質(zhì),證明了核磁共振測(cè)量。相比經(jīng)典的β-二酮絡(luò)合物,[ M(acac)4 ]和[M(THD)4](M = Hf,Zr;acac:乙酰丙酮;總諧波失真(THD):- tetramethylheptadione),新的丙二酸化合物是更不穩(wěn)定,分解在較低溫度下具有較低的熔點(diǎn)。特別是,均系的丙二酸二乙酯絡(luò)合物Hf和Zr在溫度低至62攝氏度。此外熔體,化合物在空氣中非常穩(wěn)定,可以升華的定量。有前途的熱性能,使得這些化合物的有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積(MOCVD)有趣。這是通過(guò)沉積HfO2和ZrO2薄膜的成功具有代表性的兩個(gè)HF和鋯配合物