丙二酸單體的前體，HfO2和ZrO2薄膜的MOCVD。

拉瑪pothiraja，安高長(zhǎng)玉，哈里什帕拉拉，Manuela冬天，羅蘭菲舍爾，Anjana Devi

發(fā)表于19378558

摘要

新的Hf和Zr丙二酸配合物有合成的金屬酰胺不同丙二酸配體（L =二甲基丙二酸hdmml，丙二酸二乙酯（hdeml），堤叔丁基丙二酸hdbml和雙（三甲基硅基）丙二酸（hbsml）的反應(yīng)。得到了HF所有丙二酸配體進(jìn)行配八配位的單體化合物的類(lèi)型4。相反，Zr只有hdmml hdeml產(chǎn)生八個(gè)協(xié)調(diào)的單體化合物類(lèi)型ML4，而使用笨重的hdbml hbsml配體導(dǎo)致混合Alkoxo丙二酸六配位化合物的類(lèi)型（ML2（或）2 ]。單晶X-射線衍射研究的所有的化合物的介紹和討論，和它們被發(fā)現(xiàn)是單體。該配合物是固體和在溶液中，它們保留其單體性質(zhì)，證明了核磁共振測(cè)量。相比經(jīng)典的β-二酮絡(luò)合物，[ M（acac）4 ]和[M（THD）4]（M = Hf，Zr；acac：乙酰丙酮；總諧波失真（THD）：- tetramethylheptadione），新的丙二酸化合物是更不穩(wěn)定，分解在較低溫度下具有較低的熔點(diǎn)。特別是，均系的丙二酸二乙酯絡(luò)合物Hf和Zr在溫度低至62攝氏度。此外熔體，化合物在空氣中非常穩(wěn)定，可以升華的定量。有前途的熱性能，使得這些化合物的有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積（MOCVD）有趣。這是通過(guò)沉積HfO2和ZrO2薄膜的成功具有代表性的兩個(gè)HF和鋯配合物